芯源微成立于2002年,是由中科院沈陽自動化研究所發起創建的國家高新技術企業,主要從事半導體專用設備的研發、生產和銷售,公司主要產品包括光刻工序涂膠顯影設備和單片式濕法設備,公司產品已實現批量銷售,目前已累計銷售1200臺套,稱國內半導體裝備產業細分市場的“隱形冠軍”。2019年芯源微在上交所科創板上市,成為半導體光刻設備第一股,也是遼寧省科創板第一股。芯源微立足自主研發,持續引進行業高端人才,連續承擔國家02科技重大專項,通過多年技術積累、創新提高,形成自主知識產權體系。
上海芯源微企業發展有限公司于2021年2月份成立,占地面積3萬㎡,規劃總建筑面積約5萬㎡。項目建成后將建設將開展浸沒光刻匹配的涂膠顯影機、單片式清洗機等高端半導體設備及與之相關的核心部件及軟件平臺技術的研發及產業化。