光刻機的主要用途是制造芯片，是半導體制造領域的核心技術之一。具體來說，光刻機利用類似照片沖印的技術，通過光掩模將精細圖形投影到硅片或其他基底上，形成所需的電路或結構。這些電路或結構是制造集成電路、微機電系統等微納米器件的關鍵步驟。

光刻機的性能和精度直接影響了微納米器件的質量和產量，因此，它在半導體制造、光學元件制造、生物醫藥等行業中得到了廣泛的應用。在半導體行業，光刻機可以制作出半導體芯片、平板顯示器等微型器件所需的微小圖案，這些器件廣泛應用于電子產品、通訊設備等領域。

總的來說，光刻機是現代高科技產業中不可或缺的重要設備，是推動微電子技術和信息技術發展的關鍵因素之一。